電子與半導體製程如晶圓蝕刻、封裝測試與無塵室環控等設備，對溫度、濕度與製程參數有極高精度要求。為確保產品良率與製程穩定性，系統需具備多區溫控、數據記錄與即時監控功能。我們提供高精度溫度控制器、多迴路控制方案與高解析資料記錄設備，協助客戶提升製程一致性與品質可追溯性。
蝕刻機
蝕刻機廣泛應用於電子與半導體產業中的 PCB 與晶圓製程，溫度穩定性對蝕刻精度與良率至關重要。PID 溫度控制器可穩定控制加熱系統，維持製程一致性。溫溼度資料收集器可即時監控並支援追溯管理。可搭配無紙記錄儀儲存溫度歷程，並透過警報顯示器即時回應異常，確保潔淨室作業的可靠性。
無塵室
在半導體與電子製造業中，HVAC 系統是維持無塵室環境穩定的關鍵。精準的溫濕度控制有助於確保製程一致性與產品良率。PID 溫度控制器可穩定調節空調與冷卻系統，溫溼度資料收集器則可即時監控並回傳關鍵環境數據。搭配無紙紀錄器，可連續記錄與儲存溫溼度歷程資料，滿足 ISO 與潔淨室規範的追溯與稽核需求。警報顯示器則於異常發生時即時警示，提升整體系統的穩定性與可靠性。
