在半導體製程設備中，溫度控制不只是基本運轉條件，更直接影響製程穩定性、批次一致性與後續追溯管理。MCT 多迴路控制器整合多迴路控制、高限保護、趨勢圖表與資料記錄功能，並支援遠端監看、操作稽核追蹤、數位簽章與 升降溫程式控制，可協助設備建立更完整的溫控與資料管理架構。MCT 最多可支援 3 個控制迴路、64 段程式控制，並可將資料長期儲存在 SD 卡中，支援 USB 與 FTP 備份。
為什麼半導體製程需要多迴路控制與資料追溯
1
製程條件必須穩定
半導體製程對溫度變化高度敏感。若不同區域或不同製程階段的控溫表現不一致，容易影響製程重複性與產品一致性。
2
程式控制必須可重複
許多熱製程不是單一固定溫度，而是需要依序執行升溫、保溫、降溫與段落切換，因此控制平台必須支援可重複的程式控制能力。
3
製程資料必須可追溯
除了即時監看外，製程資料、警報紀錄、操作紀錄與參數變更軌跡也需要被完整保存，以支援品質管理、內部稽核與異常追查。
4
設備管理走向遠端化
現代設備管理不再只依賴現場面板，工程與管理人員也需要透過網路查看設備狀態、備份資料與追蹤異常事件。
半導體製程設備常見痛點
多區控制複雜
多區溫控與多段製程並行時，若缺乏整合式控制平台，設定、操作與管理都更容易變得繁瑣。
程式管理繁瑣
若升溫、保溫與降溫條件需要大量手動設定，將增加操作負擔，也不利於製程一致性。
資料分散難查
當控制、警報與歷史資料分散於不同系統時，後續查詢、比對與追溯效率都會下降。
稽核管理壓力高
若缺乏清楚的操作紀錄、權限控管與資料簽章機制，資料完整性管理將更加困難。
MCT 半導體製程解決方案
針對半導體製程設備在多區溫控、分段程式控制、資料追溯與遠端管理上的需求，MCT 多迴路控制器可提供更完整的整合式控制架構。從多迴路溫控到歷史資料保存，從稽核追蹤到系統擴充，MCT 能協助設備在兼顧製程穩定性的同時，也提升整體管理效率與應用彈性。
多區整合控制
支援最多 3 個控制迴路，適合多區溫控與複合製程管理。
稽核權限管理
具備操作稽核追蹤、數位簽章與多層級權限管理，提升資料完整性。
分段程式控制
支援 64 段程式控制，可對應升溫、保溫、降溫與段落切換需求。
遠端監看整合
支援網頁、虛擬網路控制、電子郵件與資料備份功能，提升跨區管理效率。
資料記錄追溯
整合趨勢圖表、歷史資料與備份機制，強化製程資料保存與追溯效率。
模組彈性擴充
可搭配智慧型監測輸入與擴充輸入輸出模組，滿足更多監測與控制需求。
立即升級半導體製程的多迴路控制與資料管理能力